5月30日上午，依托華中科技大學(xué)數(shù)字制造裝備與技術(shù)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室的“微納制造與納米測(cè)量技術(shù)”教育部創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)結(jié)題驗(yàn)收工作會(huì)議召開。結(jié)題驗(yàn)收專家組組長(zhǎng)由西安交通大學(xué)蔣莊德院士擔(dān)任，成員有大連理工大學(xué)賈振元教授、中南大學(xué)朱文輝教授、清華大學(xué)路新春教授、武漢理工大學(xué)華林教授。華中科技大學(xué)科發(fā)院副院長(zhǎng)高亮教授，機(jī)械學(xué)院黨委書記、創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)負(fù)責(zé)人史鐵林教授及團(tuán)隊(duì)成員等20余人參加了會(huì)議。蔣莊德受教育部委托主持驗(yàn)收?qǐng)?bào)告流程。

　　高亮簡(jiǎn)要介紹了會(huì)議議程、與會(huì)來賓以及“微納制造與納米測(cè)量技術(shù)”教育部創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)的基本情況。史鐵林從創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)發(fā)展與平臺(tái)建設(shè)、創(chuàng)新能力與社會(huì)貢獻(xiàn)、科教結(jié)合與人才培養(yǎng)、團(tuán)隊(duì)文化與管理運(yùn)行等方面向?qū)＜医M作了詳細(xì)匯報(bào)。專家組現(xiàn)場(chǎng)考察了該創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)核心成員的相關(guān)實(shí)驗(yàn)室，參觀了機(jī)械工程學(xué)院大型儀器共享平臺(tái)，對(duì)該創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)在前沿技術(shù)的基礎(chǔ)研究、儀器開發(fā)與應(yīng)用、學(xué)科發(fā)展與人才培養(yǎng)等方面的工作與成果進(jìn)行細(xì)致核查與質(zhì)詢。

　　專家組通過集中評(píng)議，形成了驗(yàn)收綜合意見，對(duì)創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)在資助期間取得的優(yōu)異成績(jī)給予了充分肯定和高度贊賞。專家組認(rèn)為，“微納制造與納米測(cè)量技術(shù)”教育部創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)以學(xué)科發(fā)展前沿和國(guó)家重大需求為導(dǎo)向，以基礎(chǔ)科學(xué)問題和大型科研項(xiàng)目為紐帶，開展了原子層沉積技術(shù)與應(yīng)用、跨尺度微納復(fù)合結(jié)構(gòu)制備技術(shù)與應(yīng)用、表面測(cè)量技術(shù)/儀器與應(yīng)用、納米結(jié)構(gòu)測(cè)量理論/技術(shù)/儀器與應(yīng)用等研究，取得了具有創(chuàng)新性的累累碩果，為我國(guó)在微納加工、納米測(cè)量等領(lǐng)域提供了理論與技術(shù)支撐，填補(bǔ)了國(guó)內(nèi)多項(xiàng)技術(shù)空白和打破國(guó)外相關(guān)技術(shù)壟斷。

　　專家組一致同意通過結(jié)題驗(yàn)收，認(rèn)為總體優(yōu)秀，同時(shí)建議教育部給予滾動(dòng)支持，建議學(xué)校加大投入繼續(xù)支持。高亮、史鐵林表示，將按照專家組的建議和意見不斷改進(jìn)和完善，為將該創(chuàng)新團(tuán)隊(duì)打造成一支具有國(guó)際知名度的創(chuàng)新群體而不懈努力。

　　據(jù)悉，該團(tuán)隊(duì)在建設(shè)期間，取得了一系列科研成果。團(tuán)隊(duì)面向微納制造與納米測(cè)量技術(shù)領(lǐng)域，在原子層沉積、跨尺度微納復(fù)合結(jié)構(gòu)制備、表面測(cè)量、納米結(jié)構(gòu)測(cè)量等方面取得了突破性進(jìn)展。他們提出了選擇性原子層沉積方法，并開發(fā)了兩類高效薄膜生長(zhǎng)裝備;提出了多種規(guī)�；�、跨尺度、低成本微納結(jié)構(gòu)制造工藝;開發(fā)了“高精度寬光譜穆勒矩陣橢偏儀”等系列測(cè)量?jī)x器，并成功實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)業(yè)化，為國(guó)內(nèi)外20余家研究機(jī)構(gòu)提供了設(shè)備和測(cè)試服務(wù)。團(tuán)隊(duì)人才培養(yǎng)和引進(jìn)成效顯著，現(xiàn)有國(guó)家杰青1名、國(guó)家優(yōu)青1名、科技部中青年科技創(chuàng)新領(lǐng)軍人才2名、青年千人4名，獲人才和團(tuán)隊(duì)獎(jiǎng)6項(xiàng)。團(tuán)隊(duì)先后培養(yǎng)博士后、博士、碩士108名，承擔(dān)研究生課程9門、本科生課程18門;承擔(dān)國(guó)家重大基礎(chǔ)研究項(xiàng)目、國(guó)家重大儀器專項(xiàng)、國(guó)家自然科學(xué)基金等科研項(xiàng)目30余項(xiàng)，經(jīng)費(fèi)約1.1億元。團(tuán)隊(duì)同時(shí)還發(fā)表SCI論文167篇，出版專著5部;授權(quán)發(fā)明專利69項(xiàng)，其中美國(guó)專利3項(xiàng)，獲國(guó)際發(fā)明獎(jiǎng)3項(xiàng);舉辦學(xué)術(shù)論壇11次，受邀做特邀報(bào)告25次。